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SAW 필터 설계를 위한 압전 물질의 SAW 위상속도 추출 방법

여파기(다단자의 전기기계적 여파기

기술분야 : 전자/전기 기술유형 : S/W
개발상태 : 사업화
보유기관 : (주)와이팜 보유국가 : 국내
통상실시권 : 0 만원  특허정보 상세보기

기술개요


SAW 필터 설계를 위한 압전 물질의 SAW 위상속도 추출 방법이 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 압전 물질의 SAW 위상속도 추출 방법은, SAW 지연라인과 오픈 더미 패턴의 S-파라미터를 측정하고, 측정된 S-파라미터를 Y-파라미터로 변환하여, Y-파라미터 디임베딩 하며, 디임베딩 된 Y-파라미터를 S-파라미터로 변환하고, 디임베딩 된 S-파라미터를 이용하여 SAW 위상속도를 계산한다. 이에 의해, 간단한 두 가지의 테스트 패턴과 VNA만을 사용하여 IDT 이외에서 발생하는 기생성분을 Y-파라미터 디임베딩 기법을 사용하여 제거함으로써 종래의 기술보다 간단하고 정확하게 압전 물질의 SAW 위상속도를 추출할 수 있다.
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